日本ULVAC 爱发科 油扩散泵 减少排气阻力 BW-02 BW-04B
日本ULVAC 爱发科 油扩散泵 减少排气阻力 BW-02 BW-04B
BW-02
BW-04B
BW-06B
BW-10
BW-14
BW-20
BW-22
BW-36
BW-52
油扩散泵
抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。
特点
保护真空容器内部免受油扩散泵的油雾污染。
最大限度地减少排气阻力。
通过设适配器，BW-04B和BW-06B可以进一步抑制油蒸汽的逆流。
规格
| 型号 | BW-02 | BW-04B | BW-06B | BW-10 | BW-14 | BW-20 | BW-22 | BW-36 | BW-52 | |
| 电导率[L/sec] | 100 | 940 | 2200 | 3130 | 5000 | 13000 | 14000 | 54000 | 75000 | |
| 外部尺寸[mm] | D | Φ120 | Φ149 | Φ199 | Φ350 | Φ450 | Φ625 | Φ680 | Φ1065 | Φ1480 |
| T | 16 | 28 | 28 | 44 | 50 | 152 | 101 | 113 | 165 | |
| t | 16 | 25 | 25 | 22 | 22 | 24 | 26 | 28 | 35 | |
| 冷却水取合（尺寸） | Rc 1/8 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 1/2 | |
| 冷却水量[L/min] | 1.5 | 0.7 | 1 | 2 | 2 | 3 | 3 | 5 | 5 | |
| 重量[kg] | 1 | 1.3 | 1.7 | 7.6 | 11 | 22 | 28 | 66 | 200 | |