日本ULVAC 爱发科 GST-07L-B 溅射离子泵 小型・轻量
日本ULVAC 爱发科 GST-07L-B 溅射离子泵 小型・轻量
GST-07L-B
溅射离子泵
特点
小型・轻量
搭载CPU实现多功能化。
单个装置可以控制所有离子溅射泵（Model:PST）。
通讯设备标准配件
外部通信控制功能是标准配置，因此可以进行远程控制和自动操作。
XHV対応
自动启动电路和软件启动功能可最大限度地减少泵电池的污染 （→专利1340297和其他申请待定）
安全功能改进
具有操作开关的防错功能和各种保护的互锁功能。 采用高氟橡胶树脂高压电缆，具有优异的耐热性，耐寒性和电气特性。
限制使用指定的有害物质（RoHS指令）。
符合CE标志
用途
加速器
电子显微镜
分析机器
仕様
| 組合せポンプ | アクターポンプ（全てのModel:PST） | |
| 動作圧力 | 10-2 to 10-4Pa以下 | |
| 表示範囲 | 表示方法 | デジタル表示 （７セグメントLED表示） |
| 表示内容 | ||
| a）出力電流表示 | mA． μAの2レンジ自動切換え（LINEAR表示） | |
| b）出力電圧表示 | DC0.0～7.5kV（H または L）（１レンジLINEAR表示） | |
| c）圧力表示 | Pa, mbr (1×10-8～1×10-2Pa) (1×10-10～1×10-4mbar) | |
| 出力開放電圧 | DC+7.5kV （パネル面スイッチによりH.Lの2点設定切り換え H.Lの設定電圧は約1.0～7.5kVボリューム可変） | |
| 出力電流 | DC31mA以下 | |
| 入力電圧・電流 | AC100～115V±10% ・ 50/60Hz～3.0A AC200～240V±10% ・ 50/60Hz～1.5A | |
| MONITOR端子出力信号 | パネル７セグメント表示に比例した信号を出力 各レンジDC0～10V F.S. 100kΩ以上 | |
| 圧力セットポイント | 2点 | |
| REMOTE/LOCAL | 前面パネルスイッチにより切替 | |
| 各種入力機能付（REMOTEコネクタ付） （リモート制御、RS232C通信制御搭載） | ||
| 保護機能 | エラー表示/各種保護機能搭載 表示点灯で高電圧（HV)出力遮断（ERR 0～8） スタートアップ保護用タイマー設定 （1～255分で可変） 停電後自動復帰可能 （HV-HOLDスイッチ操作） | |
| 使用環境 | 温度範囲 | 0～40℃ |
| 湿度範囲 | 85%以下（結露無し） | |
| 付属品 | 入力ケーブル３ｍ | |
| 質量 | 本体：約4kg | |
| 外形寸法 W x H x D | W240×H99×D370mm（ラック取付金具除く） | |