日本ULVAC 爱发科 CRYO-U22H 低温泵 CRYO-U30H 大型成膜生产
日本ULVAC 爱发科 CRYO-U22H 低温泵 CRYO-U30H 大型成膜生产
CRYO-U20P
CRYO-U20H
CRYO-U22P
CRYO-U22WB
CRYO-U22H
CRYO-U30H
低温泵
使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。
特点
特别适用于大型成膜生产设备。
Model:CRYO-U20P 规格
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 10,000 |
| 氢 | 18,000 | ||
| 氩 | 8,400 | ||
| 水 | 29,000 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.1×103(8.7) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 氢 | 4.6×106(3.4×104) | ||
| 冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 180/160(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-500 | ||
| 压缩机组 | C30VRT | ||
| 重量 | Kg | 69.0 | |
*维护周期：16,000小时