排气机VTU-080-LM1VTU-080-LM2特性无油涡旋真空泵和涡轮分子泵的组合,是一个完整的无油高真空排气单元。设置面积少,可以靠近现在使用中的装置设置。用按钮一个同时使之启动滚动真空泵和涡轮分子泵的自动操作※进行自动操作时,对包含腔室和配管部件的容量有限制。